芯片制造关键设备再突破！离子注入机实现全谱系产品国产化
| 编辑: 王瑞颖 | 时间: 2021-03-17 11:17:53 | 来源: 新华社 |
中国电子科技集团有限公司17日对外公布，该集团旗下装备子集团攻克系列“卡脖子”技术，已成功实现离子注入机全谱系产品国产化，包括中束流、大束流、高能、特种应用及第三代半导体等离子注入机，工艺段覆盖至28nm，为中国芯片制造产业链补上重要一环，为全球芯片制造企业提供离子注入机一站式解决方案。（记者温竞华，海报设计：贾伊宁）
标签：科技
新闻推荐
- 2026第十七届东莞台湾名品博览会成功举办2026-09-04
- 2026年暑运两岸“小三通”运送旅客近44万人次2026-09-04
- 国防部：任何“以武谋独”的企图都注定失败2026-09-04
- 第20届亚运会中国体育代表团在京成立 36名奥运会冠军在列2026-09-04
- 故宫博物院年度大展启幕 《步辇图》等107件珍品亮相2026-09-03
- 台湾文旦柚亮相东莞台博会2026-09-03
